1. Đơn vị hành chính cơ sở Thạch Thất
- Diện tích tự nhiên: 31,93 km2
- Quy mô dân số: 57.449 người
- Địa giới hành chính:
+ Toàn bộ diện tích và dân số của các xã: Cẩm Yên, Đại Đồng, Lại Thượng, Phú Kim, thị trấn Liên Quan, Kim Quan (Thạch Thất).
- Ranh giới đơn vị hành chính:
+ Phía Đông tiếp giáp ĐVHC cơ sở Phúc Thọ, Tây Phương (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
+ Phía Tây tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hạ Bằng, Đoài Phương (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
+ Phía Nam tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hạ Bằng, Tây Phương (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
+ Phía Bắc tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Phúc Thọ (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
2. Đơn vị hành chính cơ sở Hạ Bằng
- Diện tích tự nhiên: 35,27 km2
- Quy mô dân số: 46.357 người
- Địa giới hành chính:
+ Toàn bộ diện tích và dân số của các xã: Cần Kiệm, Đồng Trúc (Thạch Thất);
+ Phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Bình Yên, Hạ Bằng, Quang Trung (Thạch Thất);
+ Một phần diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Tân Xá, Thạch Hòa, Phùng Xá (Thạch Thất); Ngọc Mỹ, Ngọc Liệp, Phú Cát (Quốc Oai).
- Ranh giới đơn vị hành chính:
+ Phía Đông tiếp giáp ĐVHC cơ sở Tây Phương, Liệp Nghĩa (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay - đường giao thông quy hoạch - cao tốc Láng - Hòa Lạc - đường giao thông quy hoạch)
+ Phía Tây tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hòa Lạc, Đoài Phương (đi theo đường giao thông quy hoạch - ranh giới cấp huyện hiện nay)
+ Phía Nam tiếp giáp ĐVHC cơ sở Phú Cát, Liệp Nghĩa (đi theo ranh giới cấp huyện hiện nay)
+ Phía Bắc tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Thạch Thất (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
3. Đơn vị hành chính cơ sở Tây Phương
- Diện tích tự nhiên: 31,55 km2
- Quy mô dân số: 41.468 người
- Địa giới hành chính:
+ Toàn bộ diện tích và dân số của các xã: Hương Ngải, Lam Sơn, Thạch Xá (Thạch Thất);
+ Phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Quang Trung, Phùng Xá (Thạch Thất);
+ Một phần diện tích tự nhiên của thị trấn Quốc Oai và các xã: Sài Sơn, Ngọc Mỹ, Phượng Sơn (Quốc Oai).
- Ranh giới đơn vị hành chính:
+ Phía Đông tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hát Môn, Quốc Oai (đi theo ranh giới cấp huyện hiện nay và các tuyến đường giao thông quy hoạch)
+ Phía Tây tiếp giáp ĐVHC cơ sở Thạch Thất, Hạ Bằng (đi theo ranh giới cấp xã hiện nay)
+ Phía Nam tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hạ Bằng, Liệp Nghĩa, Quốc Oai (đi theo đường giao thông quy hoạch - đường đại lộ Thăng Long)
+ Phía Bắc tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Phúc Thọ, Hát Môn (đi theo ranh giới hiện nay của huyện)
4. Đơn vị hành chính cơ sở Hòa Lạc
- Diện tích tự nhiên: 43,06 km2
- Quy mô dân số: 56.596 người
- Địa giới hành chính:
+ Phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Thạch Hòa, Tân Xã (Thạch Thất);
+ Một phần diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Cổ Đông (Sơn Tây), Bình Yên, Hạ Bằng, Tiến Xuân (Thạch Thất)
- Ranh giới đơn vị hành chính:
+ Phía Đông tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hạ Bằng (ranh giới đi theo đường giao thông quy hoạch)
+ Phía Tây tiếp giáp ĐVHC cơ sở Yên Xuân, Yên Bài, Đoài Phương (ranh giới đi theo đường giao thông quy hoạch)
+ Phía Nam tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Yên Xuân, Phú Cát (ranh giới đi theo ranh giới cấp huyện hiện nay - đại lộ Thăng Long)
+ Phía Bắc tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Đoài Phương (ranh giới đi theo đường giao thông quy hoạch - đường QL21A)
5. Đơn vị hành chính cơ sở Yên Xuân
- Diện tích tự nhiên: 70,25 km2
- Quy mô dân số: 92.333 người
- Địa giới hành chính:
+ Toàn bộ diện tích và dân số của các xã: Yên Trung, Yên Bình (Thạch Thất); Đông Xuân (Quốc Oai);
+ Phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của xã Tiến Xuân (Thạch Thất);
+ Một phần diện tích tự nhiên và dân số của xã Thạch Hòa, Yên Bài (Thạch Thất).
- Ranh giới đơn vị hành chính:
+ Phía Đông tiếp giáp ĐVHC cơ sở Hòa Lạc, Phú Cát (ranh giới đi theo đường giao thông quy hoạch - ranh giới cấp huyện hiện nay)
+ Phía Tây và phía Nam tiếp giáp tỉnh Hòa Bình (đi theo ranh giới cấp tỉnh hiện nay)
+ Phía Bắc tiếp giáp với ĐVHC cơ sở Yên Bài (đi theo ranh giới cấp huyện hiện nay).